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這是一款基于RDL First WLP 行業(yè)點(diǎn)膠需求開發(fā)的高穩(wěn)定性高精度、集晶圓自動上下料功能的點(diǎn)膠系統(tǒng)。該系統(tǒng)集晶圓自動上下料與晶圓級噴膠功能于一體，可全自動實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)、對位、預(yù)熱、作業(yè)加熱、噴膠、散熱等功能。兼容國際半導(dǎo)體通訊協(xié)議，同時(shí)配置AMHS自動上下貨機(jī)器人接口，匹配信息化管 理要求與無人化管理趨勢，點(diǎn)膠區(qū)域達(dá)到 550mmx510mm。
體點(diǎn)膠.jpg)
工作機(jī)位作業(yè)前后檢測，末站專業(yè)檢測，實(shí)現(xiàn)多重防呆。
同時(shí)配備自動上料機(jī)、自動下料機(jī)，匹配信息化管理要求與無人化管理趨勢。
作業(yè)軌/傳輸軌分離，單臺停機(jī)不影響整線運(yùn)行。
實(shí)時(shí)MES系統(tǒng)對接，上傳生產(chǎn)狀態(tài)信息，系統(tǒng)異常狀態(tài)報(bào)警
對溫度進(jìn)行精細(xì)管控并自動校正
百級防塵設(shè)計(jì) 專用于環(huán)保車間 ESD防靜電設(shè)計(jì) 防震動
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